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GBT2591512021英文版 [复制链接]

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GB/T.1-英文版洁净室及相关受控环境第1部分:按粒子浓度划分空气洁净度等级

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1范围本文件规定了按空气中悬浮粒子浓度划分洁净室、洁净区.GB/T.7所述的隔离装置中的空气洁净度等级。本文件适用于粒径挡下限为0.1μm~5μm的颗粒物累积计数分布及其粒子浓度的监测超细粒子(0.1μm)的浓度将在纳米尺寸粒子空气洁净度标准中规定。在指定采样点,规定使用光散射(离散式)空气悬浮粒子计数器(LSAPC)判定大粒子(5μm)的粒子浓度,用M描述符对其量化。本文件不适用于表征空气悬浮粒子的物理性、化学性、放射性、生物活性或其他特性。2规范性引用文件下列文件中的内容通过文中的规范性引用而构成本文件必不可少的条款。其中,注日期的引用文件,仅该日期对应的版本适用于本文件;不注日期的引用文件,其最新版本(包括所有的修改单)适用于本文件。GB/T.2--洁净室及相关受控环境第2部分:洁净室空气粒子浓度的监测(ISO-2:,IDT)GB/T.7洁净室及相关受控环境第7部分:隔离装置(净化空气台、手套箱、隔离器和微环境)(GB/T.7--,ISO-7:,IDT)GB/T.4-粒度分析单颗粒的光学测量方法第4部分:洁净间光散射尘埃粒子计数器(ISO-4:,IDT)3术语和定义下列术语和定义适用于本文件。3.1基本3.1.1洁净室cleanroom空气悬浮粒子浓度受控并分级的房间,其设计、建造到运行均使进入、产生、滞留于房间的粒子受控。注1;规定了按空气悬浮粒子浓度划分的级别。注2:也可对影响沽净度等级的其他因素,如空气中化学物.微生物或纳米尺度粒子浓度等,以及影响表面洁净度等级的其他因素,如粒子.纳米粒子.化学物或微生物浓度等,作出规定并进行控制。注3:温度.湿度、压力、振动和静电等相关的物理参数,也可按要求受控。3.1.2洁净区cleanzone空气悬浮粒子计数浓度受控并分级的限定空间。其建造和运行使进入、产生和滞留于空间的粒子受控。注1;空气悬浮粒子浓度的级别已确定.注2:也可对影响洁净度等级的其他因素,如空气中化学物.微生物或纳米尺度粒子浓度等,以及影响表面洁净度等级的其他因素.如粒子纳米粒子.化学物或微生物浓度等,作出规定井进行控制.注3:洁净区可以是限定于洁净室内的空间,也可用隔离装置实现。隔离装置既可设在洁净室内也可在洁净室外。注4:温度.湿度、压力、振动和静电等相关的物理参數,也可按要求受控。3.1.3设施installation连同所有相关构筑物、空气处理系统、供给和公用设施的洁净室或一个.多个洁净区.3.1.4分级classification按技术要求评定洁净室或洁净区洁净度水平的方法。注:洁净度水平应以1S0等级依度来措述,它代表单位容积空气内最大允许粒子浓度。3.2空气悬浮粒子3.2.1粒子particle具有规定物理边界的微小物质.3.2.2粒径particlesize给定粒径测定仪测得的、与被测粒子响应量相当的球体直径。注。光散射离散粒子计数仪给出的是光学等效直径。3.2.3粒子浓度particleconcentration单位体积空气中粒子的个数。3.2.4粒径分布particlesizedistribution以累积分布表示的粒子浓度与粒径的函数关系。3.2.5大粒子macroparticle当量直径大于5μm的粒子。3.2.6M描述符Mdescriptor3.3占用状态3.3.1as-built洁净室或洁净区所有服务设施就位并运行,但无设备、家具、材料和人员的状态。3.3.2静态at-rest洁净室或洁净区建成且设备就位,按议定的方式运行,但无人员在场的状态。3.3.3动态operational洁净室或洁净区设施按议定方式运行,且有规定数量的人员按议定方式工作的状态。3.4检测仪器3.4.1分辨率resolution可被测量的最小变量,即在相应显示中产生的、可辨认的变化。注:噪声(内、外部)或摩擦等因素可决定分辨率,被测的量值也可决定分辨率。[来源:ISO/IECGuide99:,4.14]3.4.2最大允许测误差maximumpermissiblemeasurementerror对一项具体测量、或对测量仪或测量系统,相对于已知参照量值,技术条件或规范所允许的测量误差极值.注1;在有两个极限值时,通常用术语“最大允许误差"或“误差限值"予以区分。注2:“公差"不可用于表示“最大允许误差"。[来源:ISO/IECGuide99:,4.26]3.5仪器规格3.5.1光散射(离散式)空气悬浮粒子计数器lightscattering(discrete)airborneparticlecounter;LSAPC依据粒子的光学等效直径,对空气中单个粒子进行计数和测径的仪器。注:GB/T.4--给出了LSAPC的规格。3.5.2.离散大粒子计数器discretemacroparticlecounter能够对空气中单个大粒子计数和测径的仪器.注:其技术规格见附录F中表F.1.3.5.3飞行时间测径仪timeof-flightparticlesizingapparatus以粒子适应风速变化的时间来测定其空气动力学直径的离散粒子计数、测径装置。注1:通常借助光学方法测量流体速度变化后粒子的移动时间。4分级4.1占用状态应规定在“空态”#静态"和“动态”的某种或某几种占用状态下(见3.3),对洁净室或洁净区按空气中粒子浓度进行分级。4.2粒径当按粒子浓度划分空气洁净度等级时,范围为0.1μm~5μm的一个或几个粒径挡阈值(低值)。4.3ISO等级数按粒子浓度划分的空气洁净度应标识为ISON级。每个

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